上海微电子设备集团股份有限公司（Shanghai Microelectronics Equipment (Group) Corporation，简称SMEE）是中国的一家专注于半导体设备研发、生产和销售的企业。在纳米技术领域，"nm"通常指的是纳米，即十亿分之一米，是衡量半导体制造工艺水平的一个关键单位。
上海微电子的设备主要应用于半导体制造，其中光刻机是半导体制造中的关键设备，其分辨率直接决定了芯片的制造水平。目前，上海微电子已经推出了能够实现28nm工艺的光刻机，并且正在研发更先进的14nm和7nm工艺的光刻机。
然而，与国际先进水平相比，中国半导体设备制造在高端领域还存在一定差距。随着国家政策的支持和企业的持续研发投入，上海微电子等国内企业正在努力提升技术水平，争取在更先进的纳米工艺上取得突破。